布鲁克光学轮廓测量仪薄膜式隔振器
发布日期：2025-03-01
光学薄膜技术在现代制造业中扮演着至关重要的角色，其均匀性直接影响光学元件的性能。为了实现高均匀性镀膜，薄膜沉积系统需要精准控制薄膜厚度。振动干扰会使薄膜厚度出现偏差，影响最终质量。为了应对这一挑战，薄膜沉积设备需要有效的减震解决方案。
薄膜隔振器采用独特的悬浮设计，能够有效隔离来自地面的低频振动。其工作原理是利用气囊内部的压力差，形成为设备提供稳定支撑的气垫。与传统弹簧减震不同，薄膜隔振器具有以下显著优势：高灵敏度：能够检测并隔离微小振动，确保设备稳定运行。广泛频响范围：有效隔振频率范围宽，覆盖设备运行中可能遇到的各种振动源。耐用性强：采用特殊材质制作，具有较长使用寿命，无需频繁维护。空间占用小：轻便紧凑的设计，方便设备布局。
在实际应用中，安装了薄膜隔振器的薄膜沉积系统能够将振动幅度降低90%以上，确保薄膜厚度均匀性控制在0.1%以内。这对于高端光学元件制造具有重要意义，可显著提升产品质量和良品率。
薄膜隔振器的成功应用，不仅满足了精密薄膜沉积的技术要求，也为推动我国光电子产业发展提供了有力支持。这种高精度减震解决方案在光学、半导体、精密仪器等领域的广泛应用，将不断提升制造工艺水平，推动产业升级。
